Dieses Dokument legt mittels ellipsometrischer Messungen und deren Auswertung das Verfahren zur Bestimmung der Gesamtschichtdicke d_t des Schichtsystems und der Schichtdicken d_i von Einzelschichten in Mehrfachschicht- beziehungsweise periodischen Schichtsystemen sowie deren optischen (Brechungsindex n und Extinktionskoeffizient k) beziehungsweise dielektrischen (RealTeil ε₁ und ImaginärTeil ε₂) Konstanten/Funktionen auf Basis des Modells Mehrfachschichten und periodische Schichten fest. 

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